台積電首次開放媒體進入廠區無塵室參訪，地點選在南科14廠，這是全球最大的12吋晶圓廠，首度曝光。
據說，韓國媒體對台積電的超大晶圓廠，興趣之高難以想像，投了無數採訪請求，
但台積電為了嚴守機密，從未同意韓國媒體採訪。
《遠見》記者親自體驗進無塵室前嚴密程序，除了身上的衣物鞋襪外，其他物品都不得帶入無塵室。
首先，先經過金屬探測門確認一切淨空，接著到自動洗手區，把手伸進小洞，就能自動洗手、烘乾。
著裝時刻來臨，工作人員協助穿上無塵衣、無塵靴，還要戴上口罩及手套，只剩下眼睛露在外頭，
每個人都像極了要上外太空的太空人。
進入無塵室，就像進入未來世界，頭頂上佈滿三、四層軌道，上有載送晶圓的小車來往，會自動會車、加減速。
交通最忙碌的交會口，每小時有1200輛自動車經過，比台南假日的交流道的車流還要更繁忙。
這座自動化搬運系統，光是錯綜軌道就有43公里，超過台北到桃園的距離，
遠遠看就像車子都飛在天上，壯觀至極。
每天晶片的運送輛能達到60萬次，是台北捷運載客量的7.7倍，而每台小車造價都是一台進口車那麼昂貴。
導覽人員一一介紹製程手續，從光學顯影、乾式蝕刻、溼式蝕刻、化學及物理氣相沉積，
更領著大家參觀曝光機模擬情境，每一道功續、每一個步驟，都務求精準。
以蝕刻程序為例，精準度等於從台北到高雄劃一條直線，卻僅有0.1公分誤差。
偌大晶圓廠內，工作人員並不多，大部分的生產線員工，只要坐在電腦前遠端監控，
就能知道每台機器的運作狀況。
幾個月後，台積自動化程度會更提高，一個工作人員能管理75台機器，
甚至許多人員也不必再穿著無塵衣包的密不透風，
而可以在辦公室裡搖控，舒坦許多。
在半導體製程微縮上，台積一直站在世界最前端，目前台積電在28奈米市佔率達到全球9成以上，
明年第一季20奈米製程將進行量產，到了第二季就能有正式營收，20 奈米生產基地，
無塵室面積更將是前一期的1.4倍，會再創下全球最大單一無塵室的紀錄。
柏克萊前校長、已經80幾歲的Robert Birgeneau博士，參觀期間連走兩個小時的路也不喊累。
一輩子都在半導體業的他驚呼，
「從沒看過這麼大的晶圓廠，來看一次真的很值得！」
要進到無塵室工作，就必須像跟這位工作人員一般，全副武裝，不只穿上無塵衣、還得配戴口罩和手套，
只剩下眼睛露在外頭，因為只要一點點微塵，就會大幅影響晶圓良率。
台積電十四廠無塵室天花板上佈滿軌道，是全自動的晶圓搬運系統（Automatic Material Handling System），
整座廠裡軌道總長度可達43公里，比台北到桃園（約35公里），還要遠上不少。
位於南科的台積電14廠，是全台灣首座綠建築鑽石級半導體廠房，
辦公區裡還有四層樓高的植生牆，天窗灑下自然光，綠意盎然。
留言列表
